芯片工艺的先进化带来金属层、介质层等结构数量的增加,进而带来抛光次数的增加......
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氧化铈本身具有较为适中的硬度,较强的化学活性及较高的氧化物-氮化物抛光选择比......
SIC
精密光学
光学镜片: 在制造光学镜片时,镜片表面的光滑和清晰度对于光学成像至关重要......
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精密光学
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